Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства / В. Н. Черняев, Л. В. Кожитов, А. В. Попов
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Черняев, В. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Физические характеристики: |
71, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Материалы ; 1973, вып. 5 |
Загрузка...