Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства / В. Н. Черняев, Л. В. Кожитов, А. В. Попов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. — 71, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Материалы ; 1973, вып. 5) - Черняев, В. Н. (Обзоры по электронной технике, 1973)