Окисление силицидов тугоплавких металлов и его применение в технологии полупроводниковых приборов и ИС: (по данным зарубежной печати за 1978―1987 гг.) / М. А. Королев, М. Ю. Райнова, В. И. Шевяков
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Королев, М. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 12 |
Загрузка...