Окисление силицидов тугоплавких металлов и его применение в технологии полупроводниковых приборов и ИС : (по данным зарубежной печати за 1978―1987 гг.) / М. А. Королев, М. Ю. Райнова, В. И. Шевяков. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988. — 22 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 12) - Королев, М. А. (Обзоры по электронной технике, 1988)