Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1985 гг.) / И. В. Панкратов [и др.]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Панкратов, И. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1986, вып. 14 |
Загрузка...