Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1985 гг.) / И. В. Панкратов [и др.]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986. — 43, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1986, вып. 14) - Панкратов, И. В. (Обзоры по электронной технике, 1986)