Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / [составитель Р. А. Карпович
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1975 |
| Физические характеристики: |
117, [1] с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 10 (143) |
Загрузка...