Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / [составитель Р. А. Карпович. — Москва : Электроника, 1975. — 117, [1] с. — (Тематические указатели литературы. Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 10 (143)) - Карпович, Р. А.; Чечко, Л. И. (Тематические указатели литературы, 1975)