Изготовление фотошаблонов для микроэлектроники / составитель Р. А. Карпович
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1972 |
| Физические характеристики: |
92, [1] с. ; 19 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 9 (15) |
Загрузка...