Изготовление фотошаблонов для микроэлектроники / составитель Р. А. Карпович. — Москва : Электроника, 1972. — 92, [1] с. — (Тематические указатели литературы. Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 9 (15)) - Карпович, Р. А.; Круглова, Л. И. (Тематические указатели литературы, 1972)