Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / составитель Р. А. Карпович
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1974 |
| Физические характеристики: |
110, [1] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 6 (94) |
Загрузка...