Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / составитель Р. А. Карпович. — Москва : Электроника, 1974. — 110, [1] с. — (Тематические указатели литературы. Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 6 (94)) - Карпович, Р. А.; Чечко, Л. И. (Тематические указатели литературы, 1974)