Современное состояние и тенденции развития технологии пелупроводниковых интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко

Вид документа: Периодические издания
Автор: Лизин, А. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984
Физические характеристики: 52, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления Экономика и технология приборостроения ; вып. 5-1984