Современное состояние и тенденции развития технологии пелупроводниковых интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984. — 52, [1] с. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 5-1984) - Лизин, А. И. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1984)