Papers on plasma processing / guest editor: Y. Kuo

Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Armonk, NY : International Business Machines Corporation, 1999
Физические характеристики: 240 с. : іл. ; 28 см
Язык: Английский
Серия: IBM journal of research and development ; vol. 43, № 1/2
Загрузка...