Papers on plasma processing / guest editor: Y. Kuo
Вид документа: | Периодические издания |
---|---|
Опубликовано: | Armonk, NY : International Business Machines Corporation, 1999 |
Физические характеристики: |
240 с. : іл. ; 28 см
|
Язык: | Английский |
Серия: |
IBM journal of research and development
; vol. 43, № 1/2 |
Загрузка...