Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 2. Кремниевые эпитаксиальные структуры: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1984 гг.) / Л. С. Гликин, В. В. Зотов, Е. А. Королева
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Гликин, Л. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Физические характеристики: |
40, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1984, вып. 9 |
Загрузка...