Лазерно-химические реакции для получения элементов ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1990 гг.) / Ю. В. Серянов, Л. В. Аравина
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Серянов, Ю. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990 |
| Физические характеристики: |
42 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1990, вып. 11 |
Загрузка...