Автоматизированные линии для производства интегральных схем: (по материалам иностранной печати за 1969―1973 гг.) / Ю. А. Катунина, Б. К. Афанасьев
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Катунина, Ю. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Физические характеристики: |
56, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология, организация производства и оборудование ; 1973, вып. 14 |
Загрузка...