Автоматизированные линии для производства интегральных схем : (по материалам иностранной печати за 1969―1973 гг.) / Ю. А. Катунина, Б. К. Афанасьев. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. — 56, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Технология, организация производства и оборудование ; 1973, вып. 14) - Катунина, Ю. А. (Обзоры по электронной технике, 1973)