Интерферометрические устройства контроля линейных перемещений и их применение в технологическом оборудовании / А. Х. Хитрин, Е. М. Сундукова, Б. А. Овсов
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Хитрин, А. Х. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Физические характеристики: |
32, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия 7. Технология, организация производства и оборудование ; 1973, вып. 1 |
Загрузка...