Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскостности полупроводниковых слоев: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1980 гг.) / [составитель О. Н. Пономаренко
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1981 |
| Физические характеристики: |
58, [1] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Микроэлектроника ; вып. 4 (323) |
Загрузка...