Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике / Г. Ф. Кузнецов, С. А. Семилетов
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Кузнецов, Г. Ф. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Физические характеристики: |
94 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1975, вып. 1 |
Загрузка...