Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике / Г. Ф. Кузнецов, С. А. Семилетов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. — 94 с. — (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника ; 1975, вып. 1) - Кузнецов, Г. Ф. (Обзоры по электронной технике, 1975)