Кремниевые структуры с диэлектрической изоляцией для изделий микроэлектроники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / Н. А. Брюхно [и др.]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Брюхно, Н. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Физические характеристики: |
40, [1] c., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1987, вып. 4 |
Загрузка...