Методы контроля технологических процессов очистки кремниевых пластин и нанесения слоев при производстве МДП БИС: (по данным зарубежной печати за 1972―1978 гг.) / [И. А. Васильева, Г. А. Филаретов, А. С. Яковлев
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Васильева, И. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978 |
| Физические характеристики: |
46 c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1978, вып. 4 |
Загрузка...