Методы контроля технологических процессов очистки кремниевых пластин и нанесения слоев при производстве МДП БИС : (по данным зарубежной печати за 1972―1978 гг.) / [И. А. Васильева, Г. А. Филаретов, А. С. Яковлев. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978. — 46 c. — (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника ; 1978, вып. 4) - Васильева, И. А. (Обзоры по электронной технике, 1978)