Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1981 гг.) / [составитель А. В. Дубравина]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1982 |
| Физические характеристики: |
28, [2] с. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 2 (333) |
Загрузка...