Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ЭВП / [составитель А. В. Дубравина]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1978 |
| Физические характеристики: |
36 с. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 3 (224) |
Загрузка...