Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1970 |
| Физические характеристики: |
51, [1] с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Серия: Технология и организация производства ; вып. 2а (134) |
Загрузка...