Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е. И. Верховский, Г. И. Епифанов
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Верховский, Е. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Физические характеристики: |
23, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 9 |
Загрузка...