Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е. И. Верховский, Г. И. Епифанов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. — 23, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 9) - Верховский, Е. И. (Обзоры по электронной технике, 1972)