Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1982 гг.) / [С. П. Верходанов, А. М. Мясников]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Верходанов, С. П. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Физические характеристики: |
32, [12] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 4 |
Загрузка...