Местонахождение: Современные материалы в микроэлектронике

Автор:	Меньшиков, А. Г.
Другие авторы/ответственные:	Крымский, В. В.
Вид документа:	Книги
Опубликовано:	Челябинск : ЧПИ, 1982-
Язык:	Русский