Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 2 / под общей редакцией А. П. Достанко
| Другие авторы/ответственные: | Достанко, А. П. (1937—2024), Бордусов, С. В. (род. 1955), Свадковский, И. В., Кундас, С. П. (1953—2020), Босяков, М. Н., Ануфриев, Л. П. (род. 1945), Lugscheider, E. |
|---|---|
| Вид документа: | Книги |
| Опубликовано: | 2001 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка...