Udk Search Results

/vufind

Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 2 / под общей редакцией А. П. Достанко. — 2001. — 242, [1] с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74 3 rus...”

Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто. - Минск, 2020. - 156 л.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74(043.3) 4 rus...”

Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто. - Минск, 2020. - 21 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74(043.3) 4 rus...”

Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]. - Минск : Бестпринт, 2009. - 198 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74 4 rus...”

Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович. - Минск, 2012. - 23 с.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74:661.882'065(043.3) 4 rus...”

Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович. - Минск, 2012. - 109, [1] л.

“...621.382.049.77-027.3:621.793.74:661.882'065(043.3) 4 rus...”