Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок / И. Г. Блинов [и др.

Автор: Блинов, И. Г.
Другие авторы/ответственные: Красовская, Л. А.
Вид документа: Продолжающиеся издания
Опубликовано: Москва : Институт "Электроника", 1969
Язык: Русский
Серия: Справочные материалы по электронной технике ; вып. 1 (7)