Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок / И. Г. Блинов [и др. — Москва : Институт "Электроника", 1969. — 108 с., [1] л. табл. — (Справочные материалы по электронной технике ; вып. 1 (7)) - Блинов, И. Г. (Справочные материалы по электронной технике, 1969)