Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1975 гг.) / [О. Л. Вестфаль, А. Т. Мягков]
| Автор: | Вестфаль, О. Л. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мягков, А. Т. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1976, вып. 9 |
Загрузка...