Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1975 гг.) / [О. Л. Вестфаль, А. Т. Мягков]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976. — 34, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Материалы ; 1976, вып. 9) - Вестфаль, О. Л. (Обзоры по электронной технике, 1976)