Электронно-ионные методы субмикронной технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1984 гг.) / Ю. Ф. Быдин [и др.]
| Автор: | Быдин, Ю. Ф. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1985, вып. 1 |
Загрузка...