Электронно-ионные методы субмикронной технологии : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1984 гг.) / Ю. Ф. Быдин [и др.]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985. — 39, [1] c. — (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника ; 1985, вып. 1) - Быдин, Ю. Ф. (Обзоры по электронной технике, 1985)