Методы контроля технологических процессов очистки кремниевых пластин и нанесения слоев при производстве МДП БИС: (по данным зарубежной печати за 1972―1978 гг.) / [И. А. Васильева, Г. А. Филаретов, А. С. Яковлев
| Автор: | Васильева, И. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Филаретов, Г. А., Яковлев, А. С., Федорович, Ю. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1978, вып. 4 |
Загрузка...