Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич
| Вид документа: | Диссертации |
|---|---|
| Автор: | Наливайко, О. Ю. |
| Опубликовано: | Минск, 2022 |
| Физические характеристики: |
199 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| E-документ: |
https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0001834209&fileID=11977520 |
Зал диссертаций
| Всего: 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||