Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учебное пособие для вузов]: в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]
| Другие авторы/ответственные: | Коркишко, Ю. Н. |
|---|---|
| Вид документа: | Книги |
| Опубликовано: | Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010— |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Нанотехнологии
|
Загрузка...