Тома/выпуски/составные части: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Значок книги

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учебное пособие для вузов]: в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]

Другие авторы/ответственные:	Коркишко, Ю. Н.
Вид документа:	Книги
Опубликовано:	Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010—
Язык:	Русский
Серия:	Нанотехнологии

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. — 2010. — 392 с.