Метод рентгеноэлектронной спектроскопии в технологии контроля процессов изготовления ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / Ю. А. Матвеев
| Автор: | Матвеев, Ю. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Корнильев, Г. Э. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1984, вып. 6 |
Загрузка...