Метод рентгеноэлектронной спектроскопии в технологии контроля процессов изготовления ИЭТ : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / Ю. А. Матвеев. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984. — 55 с. — (Обзоры по электронной технике. Полупроводниковые приборы ; 1984, вып. 6) - Матвеев, Ю. А. (Обзоры по электронной технике, 1984)