Тома/выпуски/составные части: Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии

Другие авторы/ответственные:	Наливайко, О. Ю., Солодуха, В. А., Пилипенко, В. А. (род. 1949), Колос, В. В., Белоус, А. И. (род. 1951), Челядинский, А. Р. (род. 1945), Гранько, С. В. (род. 1973), Комаров, Ф. Ф. (род. 1945), Голосов, Д. А. (род. 1971), Нелаев, В. В. (род. 1941), Керенцев, А. Ф., Чигирь, Г. Г., Бахматова, Н. А. (род. 1962), Семченко, А. В. (род. 1972), Липинская, Т. И., Васильев, Ю. Б., Архипова, Л. И., Медведева, А. Б., Соловьев, В. Я., Стемпицкий, Р. В., Петлицкий, А. Н., Любич, Т. М., Турцевич, А. С. (род. 1958)
Вид документа:	Книги
Опубликовано:	Минск : Интегралполиграф, 2013
Язык:	Русский

ISBN:	978-985-6845-43-0