Результаты поиска авторов

Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Голишников Александр Анатольевич. - Москва, 2002. - 27 с.

“...Голишников, А. А. (род. 1960) Александр Анатольевич...”