Результаты поиска авторов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие: для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. - (Нанотехнологии)

“...Галперин, В. А. (род. 1954) Вячеслав Александрович...”